نشر الوقت: 2024-05-22 المنشأ: محرر الموقع
قبل بداية مرحلة التعقيم، يتم إزالة الهواء الموجود في الحجرة باستخدام مضخة التفريغ، ثم يتم حقنه في البخار النقي لإكمال عملية التفريغ → تعبئة البخار.
يجب أن يكون النبض 3 مرات على الأقل. إذا تم ضخ كل فراغ إلى 0.1 ضغط جوي، فإن كل نبضة سوف تقلل الهواء الموجود في جهاز التعقيم بنسبة 90% أو وحدة لوغاريتمية واحدة. تؤدي ثلاث نبضات إلى انخفاض قيمة 3 وحدات لوغاريتمية، مما يؤدي إلى إزالة 99.9% من الهواء بشكل فعال. بهذه الطريقة، يتم زيادة كفاءة إزالة الهواء، وبالتالي يتم تقليل وقت التوازن.